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東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差

點擊次數(shù):943  更新時間:2023-04-28

東京精密E-TS-1070B 精度演算誤差方式介紹

1.G1?G2接觸子間放入微動臺。

2.先移動G1接觸子、控制部指示値為行程的一時,(-210~-220μm)固定接觸子。

.然后移動G2接觸子、控制部指示値μ時固定接觸子。

4.微動臺朝返回方向返回100μ(100μ)確認控制部 指示値。

5.微動臺至進給原位置(零位置)、確認控制部 指示値0μm〔注1〕。

6.微動臺在進給方向進給100μm(100μm)、確認控制部指示値。

 7.微動臺回到原位置(零位置)、確認控制部指示値0μm〔注1〕。

8.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値不超過1.5μm。

 9.0μm→-100μm指示値0μm→+100μm指示値的差超過1.5μm時需再調(diào)整重復(fù)[1.][8.]的作業(yè)。不超過時進行接下來的檢查。

〔注1〕 微動臺在原位置(零位置)、控制部指示値不為0μm、需調(diào)整接觸子重復(fù)〔4.〕~〔6.〕的作業(yè)。

 ※ 為減少演算誤差需進行絞合線單體感度測量(別紙)。


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